






无尘室防止微粒子污染的三项基本原则
室内的浮游微粒子浓度,使用高性能的过滤器即可容易达到零水平,实际的生产现场由于作业者、机器、周边机械的发尘及基板运送时所接触的零件材料的发尘等,在制造品周边扬起了少许的微粒子,因而造成了元件清洁面的粒子污染。 无尘室内该如何防止微粒子污染呢?应遵守下列三项基本原则: 一、不携入 在无尘室内不携入微粒子的方法有: 1、作业员进入无尘室前,机台、零件携入前应进行清洁处理。 2、进入无尘室者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等。 3、通过风淋室时利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后,才能进入无尘车间。 4、机器及材料带进无尘室前,应尽可能在密封状态下带进无尘室前室保养后用超纯水擦拭,经风淋室吹淋后才进入无尘室。 5、无尘室中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有filter的排气用小型fan于腰间。 二、不制造 在控制 大污染源--人在无尘室内的微粒子发尘量的同时,也应控制第二大污染源—制造机台的发尘量。因物品在移动时,所产生的摩擦及接触剥离会造成发尘,而物品在移动时也会有微粒子的发生。故为了控制发尘量达到 小限度应采取以下对策: 1、减少接触剥离发尘的动作形态。 2、采用磨耗发尘小的材质。 3、采用发尘小的润滑油。 4、机台应用空压浮上的非接触化工作原理。 三、不储备 若能彻底实施“不携入”技术,无尘室内的洁净度就可以维持。但现实中人和物品的频繁出入及制造机台的掣动,在广大的无尘室内要有完全洁净度是不可能的。因此“不储备”技术快速地在过滤器中应用以除去已发生的微粒子变得非常重要。通常已发生的微粒子会依据重力及静电吸附力而停留在周边的物体表面。突发性的振动及不稳定的气流会使这些累积微粒在空气中再度扬起,增加了重大微粒子污染的危险性。

千级无尘车间是什么意思?
现如今,由于环境的污染严重,大多数工厂都被安排搬迁到市外,但也有少部分工厂依旧在市内站稳脚步,这是为什么呢?原来这其中少部分工厂还在市内原因是因为采用了千级无尘车间,那么千级无尘车间是什么意思呢? 我们首先要知道一下,无尘车间是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。 无尘车间是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。无尘车间的级别包括1级无尘车间、百级无尘车间、千级无尘车间以及十万级无尘车间等。 每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称级别中的千级。 千级无尘车间的标准,微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内千级无尘车间的意思。(1000级的概念是:每立方英尺内,大于等于0.5的灰尘颗粒不能超过1000颗)。 无尘车间等级标准划分 洁净度等级标准ISO14644根据悬浮粒子浓度这个 指标来划分洁净室(区)及相关受控环境中空气洁净度的等级,并且仅考虑粒径限值(低限)0.1um~0.5um范围内累计分布的粒子群。根据粒子径,可以划分为常规粒子(0.1um~0.5um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。


