东莞无尘车间的设计以及建造

东莞无尘车间的设计以及建造是一门综合技术，正如前面所述根据无尘车间的不同用途将需设置相关的功能设施，因此各相关专业技术的密切配合是作出一个好的无尘车间工程设计、建造的条件。 东莞无尘车间根据产品生产工艺或使用要求，有的专业技术将会成为某些无尘车间设计的关键专业技术，如集成电睡生产中的光刻间无尘室设计时，由于对微振动要求十分严格，所以防微振动要求十分严格，所以防微振设计就成为这灰无尘车间设计时的关键专业技术，主要体现： ，空气净化设计，包括满足生产工艺要求的净化空调系统及其设备的选择、合理配置，与工艺设计、无尘室建筑设计密切配合进行平面、空间的确定。 第二，东莞无尘车间建筑设计，包括与工艺设计、空气净化设计密切配合，作好无尘室的平面，空间布置，作好人流，物流和防火分区，安全疏散等的安排，作好无尘室装修及其墙、顶棚、门窗、地面的设计选型和构造设计等。

无尘室防止微粒子污染的三项基本原则

室内的浮游微粒子浓度，使用高性能的过滤器即可容易达到零水平，实际的生产现场由于作业者、机器、周边机械的发尘及基板运送时所接触的零件材料的发尘等，在制造品周边扬起了少许的微粒子，因而造成了元件清洁面的粒子污染。 无尘室内该如何防止微粒子污染呢?应遵守下列三项基本原则： 一、不携入 在无尘室内不携入微粒子的方法有： 1、作业员进入无尘室前，机台、零件携入前应进行清洁处理。 2、进入无尘室者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等。 3、通过风淋室时利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后，才能进入无尘车间。 4、机器及材料带进无尘室前，应尽可能在密封状态下带进无尘室前室保养后用超纯水擦拭，经风淋室吹淋后才进入无尘室。 5、无尘室中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有filter的排气用小型fan于腰间。 二、不制造 在控制 大污染源--人在无尘室内的微粒子发尘量的同时，也应控制第二大污染源—制造机台的发尘量。因物品在移动时，所产生的摩擦及接触剥离会造成发尘，而物品在移动时也会有微粒子的发生。故为了控制发尘量达到 小限度应采取以下对策： 1、减少接触剥离发尘的动作形态。 2、采用磨耗发尘小的材质。 3、采用发尘小的润滑油。 4、机台应用空压浮上的非接触化工作原理。 三、不储备 若能彻底实施“不携入”技术，无尘室内的洁净度就可以维持。但现实中人和物品的频繁出入及制造机台的掣动，在广大的无尘室内要有完全洁净度是不可能的。因此“不储备”技术快速地在过滤器中应用以除去已发生的微粒子变得非常重要。通常已发生的微粒子会依据重力及静电吸附力而停留在周边的物体表面。突发性的振动及不稳定的气流会使这些累积微粒在空气中再度扬起，增加了重大微粒子污染的危险性。