室内的浮游微粒子浓度，使用高性能的过滤器即可容易达到零水平，实际的生产现场由于作业者、机器、周边机械的发尘及基板运送时所接触的零件材料的发尘等，在制造品周边扬起了少许的微粒子，因而造成了元件清洁面的粒子污染。 无尘室内该如何防止微粒子污染呢?应遵守下列三项基本原则： 一、不携入 在无尘室内不携入微粒子的方法有： 1、作业员进入无尘室前，机台、零件携入前应进行清洁处理。 2、进入无尘室者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等。 3、通过风淋室时利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后，才能进入无尘车间。 4、机器及材料带进无尘室前，应尽可能在密封状态下带进无尘室前室保养后用超纯水擦拭，经风淋室吹淋后才进入无尘室。 5、无尘室中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有filter的排气用小型fan于腰间。 二、不制造 在控制 大污染源--人在无尘室内的微粒子发尘量的同时，也应控制第二大污染源—制造机台的发尘量。因物品在移动时，所产生的摩擦及接触剥离会造成发尘，而物品在移动时也会有微粒子的发生。故为了控制发尘量达到 小限度应采取以下对策： 1、减少接触剥离发尘的动作形态。 2、采用磨耗发尘小的材质。 3、采用发尘小的润滑油。 4、机台应用空压浮上的非接触化工作原理。 三、不储备 若能彻底实施“不携入”技术，无尘室内的洁净度就可以维持。但现实中人和物品的频繁出入及制造机台的掣动，在广大的无尘室内要有完全洁净度是不可能的。因此“不储备”技术快速地在过滤器中应用以除去已发生的微粒子变得非常重要。通常已发生的微粒子会依据重力及静电吸附力而停留在周边的物体表面。突发性的振动及不稳定的气流会使这些累积微粒在空气中再度扬起，增加了重大微粒子污染的危险性。

一、变速驱动的冷冻机：变速驱动冷冻机可以省去大量的能量和金钱。在购买新冷冻机的时候，指定购买变速驱动冷冻机是划算的。用变速驱动冷冻机可降低能耗，同时让其他冷冻机可靠性运行。很多专家的观点都认为，变速驱动冷冻机的效果是很好的。 二、双温度冷冻循环： 冷冻系统通常设计成可以承受 大负荷，不管 大负荷发生得是否频繁。流程中处于冷冻循环的冷冻水温度，是由所有负荷中只占一小部分的极端热负荷来确定，这只是许多情况中的一两种。这会造成冷冻能力过剩，在负荷不足的情况下效率低下。 三、马达效率： 洁净室的电能大部分都是由马达消耗的。适当地提高效率、适当地调节尺寸，在翻新后，经济效果多半是不错的。效率增加几个百分点，利润就会相应增加。优质高效的马达，不一定会花费太多。高效率意味着 小，在改变马达的尺寸之前先尽量减小负荷。在输出量变化时，利用变速驱动可以提高操作效率。 四、换气次数 很多净化车间都通过维持空气流量来保持清洁度和颗粒数。在保持洁净度的前提下，空气流速的降低可以降低建造及能耗成本。换气次数降低20%就可以使风机的尺寸降低50%。空气洁净度比节约能耗更重要，但是 的研究成果已经有降低洁净成本的记载了。