据说，净化无尘车间通常是用紫外线照耀式的臭氧发生器直接装置在空调箱组内。上班前半小时与空调箱组一致敞开。有关食物、化妆品、生物制药、医疗器械洁净厂房臭氧发生器装置于空调净化系统。 选用空气或氧气为质料运用高频高压放电发生臭氧，而臭氧发生器能够对整个洁净车间进行灭菌，使氧分子分化而发生臭氧。因为紫外线灯管体积大、臭氧产值低、运用寿命短，所以这种发生器运用范围较窄，常见于消毒碗柜上运用。 净化无尘车间提醒：牢记必定要注意臭氧发生器启动时不允许有作业人员在洁净室内作业，不然结果很严重。

无尘室是污染控制的基础，是一间具备了空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间。在无尘室极高的硅晶片制造链中，必须是一个无污染源的环境、超洁净的车间，硅晶片零件才能够正常批量生产。 我国的无尘室发展起步与国外相比较晚，近二十年来，随着越来越多外企在国内开办或合资开办企业，一些高新技术对生产环境的要求提高，为了提升竞争力，各个行业也开始追求无尘室的质量。 正确、合理的设计是保证无尘室稳定运行的前提，在实际使用中，不正确的维护操作和不规范的管理都会使无尘室的空气洁净度降低，造成无尘室指标达不到要求。因此，正确科学地进行无尘室维护和管理非常重要，并且这要从各方面来完善。 人员控制 经测试分析，无尘室的微污染中80%是工作人员带来的。当工作人员进出无尘室时尘埃有显著增加，洁净度立刻劣化。因此在工作人员进入无尘室前要做好清洁擦拭等防尘动作，且企业也要对工作人员进行培训，并制定相应的章程和制度等。