(1)更换好专用防静电服，戴好、口罩，经风浴吸尘通道除尘后，进入洁净室。 (2)准备好清洁工具及用品并放置在规定地点后，开始清洁工作。 (3)捡拾地面垃圾，按生产线排列次序由里向外逐一进行。 (4)按时倾倒清运垃圾桶、垃圾箱内垃圾，并进行检查，按规定严格分类后，经生产线管理员或保安检查后运送到指定的垃圾房内分类放置。 (5)由上向下使用洁净纸或无尘布清洁室内玻璃、墙面、货架、 (6)使用洁净尘推由里向外小心进行地面推尘、保洁。地面有垃圾、污迹、水迹等及时用无尘布清洁干净。 (7)利用生产线员工休息就餐时间对生产线、工作台下、坐椅下地面进行清理。 (8)定期清洁天花板、空调出风口、顶灯隔罩、高架地板下,清洁程序和使用的材料必须申请厂务部批准，并利用节假日及休工间隙按计划进行。 (9)东莞无尘车间地面打蜡需严格按计划及清洁程序进行，必须使用防静电蜡。 (10)清洁工作完成后需将所有清洁用品收到指定清洁间，与普通工具区别存放，避免交叉污染，整齐摆放，不得随意乱放在洁净室内。

无尘室是污染控制的基础，是一间具备了空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间。在无尘室极高的硅晶片制造链中，必须是一个无污染源的环境、超洁净的车间，硅晶片零件才能够正常批量生产。 我国的无尘室发展起步与国外相比较晚，近二十年来，随着越来越多外企在国内开办或合资开办企业，一些高新技术对生产环境的要求提高，为了提升竞争力，各个行业也开始追求无尘室的质量。 正确、合理的设计是保证无尘室稳定运行的前提，在实际使用中，不正确的维护操作和不规范的管理都会使无尘室的空气洁净度降低，造成无尘室指标达不到要求。因此，正确科学地进行无尘室维护和管理非常重要，并且这要从各方面来完善。 人员控制 经测试分析，无尘室的微污染中80%是工作人员带来的。当工作人员进出无尘室时尘埃有显著增加，洁净度立刻劣化。因此在工作人员进入无尘室前要做好清洁擦拭等防尘动作，且企业也要对工作人员进行培训，并制定相应的章程和制度等。