






东莞东莞无尘车间功能温度测试,应将洁净工作区划分为等面积的栅格,每个分格面积不超过100平方米或与建设方协商确定,每格测点1个以上,每个房间测点至少2个。测试高度应为工作面高度,距的吊顶、墙面和地面不小于300MM,并应考虑热源等的影响,测量时间应至少1H,并至少6min测量一次,读数稳定后做好记录。净化车间一般温度测试的测点,每个温度控制区或每个房间1个测点,测试点高度宜为工作面高度,测量时间应至少1H,并至少6min测量一次,读数稳定后做好记录。 温度测试是确认空气处理设施的温度控制能力,温度测试应在净化车间进行调试,气流均匀性测试完成,并在净化空调系统连续运行24H以上后进行。净化车间的温度测试有功能温度测试和一般温度测试。功能温度测试主要用于需严格控制温度精度时或建设方要求在“静态”或“动态”进行测试时应用;一般温度测试主要使用于“空态”时温度测试。

无尘室是污染控制的基础,是一间具备了空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间。在无尘室极高的硅晶片制造链中,必须是一个无污染源的环境、超洁净的车间,硅晶片零件才能够正常批量生产。 我国的无尘室发展起步与国外相比较晚,近二十年来,随着越来越多外企在国内开办或合资开办企业,一些高新技术对生产环境的要求提高,为了提升竞争力,各个行业也开始追求无尘室的质量。 正确、合理的设计是保证无尘室稳定运行的前提,在实际使用中,不正确的维护操作和不规范的管理都会使无尘室的空气洁净度降低,造成无尘室指标达不到要求。因此,正确科学地进行无尘室维护和管理非常重要,并且这要从各方面来完善。 人员控制 经测试分析,无尘室的微污染中80%是工作人员带来的。当工作人员进出无尘室时尘埃有显著增加,洁净度立刻劣化。因此在工作人员进入无尘室前要做好清洁擦拭等防尘动作,且企业也要对工作人员进行培训,并制定相应的章程和制度等。


