一、变速驱动的冷冻机：变速驱动冷冻机可以省去大量的能量和金钱。在购买新冷冻机的时候，指定购买变速驱动冷冻机是划算的。用变速驱动冷冻机可降低能耗，同时让其他冷冻机可靠性运行。很多专家的观点都认为，变速驱动冷冻机的效果是很好的。 二、双温度冷冻循环： 冷冻系统通常设计成可以承受 大负荷，不管 大负荷发生得是否频繁。流程中处于冷冻循环的冷冻水温度，是由所有负荷中只占一小部分的极端热负荷来确定，这只是许多情况中的一两种。这会造成冷冻能力过剩，在负荷不足的情况下效率低下。 三、马达效率： 洁净室的电能大部分都是由马达消耗的。适当地提高效率、适当地调节尺寸，在翻新后，经济效果多半是不错的。效率增加几个百分点，利润就会相应增加。优质高效的马达，不一定会花费太多。高效率意味着 小，在改变马达的尺寸之前先尽量减小负荷。在输出量变化时，利用变速驱动可以提高操作效率。 四、换气次数 很多净化车间都通过维持空气流量来保持清洁度和颗粒数。在保持洁净度的前提下，空气流速的降低可以降低建造及能耗成本。换气次数降低20%就可以使风机的尺寸降低50%。空气洁净度比节约能耗更重要，但是 的研究成果已经有降低洁净成本的记载了。

无尘室是污染控制的基础，是一间具备了空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间。在无尘室极高的硅晶片制造链中，必须是一个无污染源的环境、超洁净的车间，硅晶片零件才能够正常批量生产。 我国的无尘室发展起步与国外相比较晚，近二十年来，随着越来越多外企在国内开办或合资开办企业，一些高新技术对生产环境的要求提高，为了提升竞争力，各个行业也开始追求无尘室的质量。 正确、合理的设计是保证无尘室稳定运行的前提，在实际使用中，不正确的维护操作和不规范的管理都会使无尘室的空气洁净度降低，造成无尘室指标达不到要求。因此，正确科学地进行无尘室维护和管理非常重要，并且这要从各方面来完善。 人员控制 经测试分析，无尘室的微污染中80%是工作人员带来的。当工作人员进出无尘室时尘埃有显著增加，洁净度立刻劣化。因此在工作人员进入无尘室前要做好清洁擦拭等防尘动作，且企业也要对工作人员进行培训，并制定相应的章程和制度等。