在操作台上保持高洁净度的局部净化。东莞无尘车间可以在操作台的局部空间形成无菌、无尘的局部净化，其主要组成部件有预过滤器、高效过滤器、风机机组、外壳、静压箱、台面和配套的电器元器件等。无尘车间的洁净工作台的构造要求：台面，采用木质塑料贴面贴于层压板上做成台面，或采用不锈钢做台面； 东莞无尘车间箱体，用热扎薄钢板与骨架气焊易变形，可采用冷轧薄板折边搭接，大电流电焊，内表面需粘贴消声材料， 大尺寸应以通过一般房门为宜；箱体密封，所有缝隙均采用密封胶密封；操作区截面应尽可能与空气过滤器送风截面相同，尽量减少盲区；风机、电机，选用高压低噪的小型风机，风机与箱体的连接采用软连接，电机及风机均应采取减振措施；灯罩，日光灯要尽量设置在灯罩内，灯罩内要通过洁净气流；预过滤器，须设置预过滤器，容量要大，在使用风量下，初阻力宜小于50Pa；高效过滤器，尽量采用大面积的过滤器，减少空气过滤器的数量，过滤器与框架之间的密封应采用封导结合的双环密封系统。

无尘室是污染控制的基础，是一间具备了空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间。在无尘室极高的硅晶片制造链中，必须是一个无污染源的环境、超洁净的车间，硅晶片零件才能够正常批量生产。 我国的无尘室发展起步与国外相比较晚，近二十年来，随着越来越多外企在国内开办或合资开办企业，一些高新技术对生产环境的要求提高，为了提升竞争力，各个行业也开始追求无尘室的质量。 正确、合理的设计是保证无尘室稳定运行的前提，在实际使用中，不正确的维护操作和不规范的管理都会使无尘室的空气洁净度降低，造成无尘室指标达不到要求。因此，正确科学地进行无尘室维护和管理非常重要，并且这要从各方面来完善。 人员控制 经测试分析，无尘室的微污染中80%是工作人员带来的。当工作人员进出无尘室时尘埃有显著增加，洁净度立刻劣化。因此在工作人员进入无尘室前要做好清洁擦拭等防尘动作，且企业也要对工作人员进行培训，并制定相应的章程和制度等。